走进半导体晶圆制造领域,超薄减薄环节始终是决定晶圆良率与生产成本的关键节点。不少华东区域半导体加工企业,都曾在大尺寸晶圆加工、超薄晶圆减薄环节遇到共性难题,寻找靠谱的国产设备供应商,已经成为行业内不少企业降本提效、保障供应链稳定的核心需求。深耕精密研磨抛光赛道二十余年,深圳市方达研磨技术有限公司始终专注晶圆研磨抛光装备国产化攻关,从设备研发到耗材配套,从标准化量产到非标定制,为不同材料、不同尺寸的晶圆加工提供成熟稳定的成套解决方案。
双硬核沉淀,技术底蕴扎实,满足各类晶圆加工需求。
二十余年专注一件事,方达研磨的核心优势从来都不是凭空而来,而是从一次次技术攻关、一批批量产验证中沉淀下来的双硬核实力。
一边是设备研发硬核,一边是工艺积累硬核。从2003年创始人开始攻关进口平面研磨技术开始,方达研磨就坚持走自主研发的路线,2007年品牌正式成立,2009年就已经完成12寸硅片减薄机和CMP抛光机的自主研发,是国内较早布局半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机研发生产的企业,2018年打造的国内首台全自动晶圆研磨机,于2020年正式投产后可替代进口同类型设备,打破了国际品牌的技术垄断,2021年更是推出了国内首台集粗磨、精磨、抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,进一步完善了国产晶圆研磨抛光装备的产品矩阵。
另一边,针对不同晶圆材料的特性,方达研磨已经积累了二十余年的工艺配方经验,早在2006年就实现了研磨液、抛光液、研磨盘的自主研发生产,针对不同材质开发了12种研磨液配方和5种研磨盘产品,2014年又完成了蓝宝石专用配套耗材的研发,近年来针对第三代半导体碳化硅晶圆的加工需求,也完成了全自动减薄工艺和气浮主轴、双头减薄机的研发投产,适配硅片、碳化硅、蓝宝石、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料的加工需求,不管是传统半导体晶圆还是第三代半导体新材料,都有成熟的加工工艺可以匹配。
双成熟布局,产品覆盖全面,解决行业核心痛点问题。
当前晶圆加工领域,多数企业都会遇到几个共性痛点,大尺寸晶圆加工精度难把控、超薄晶圆加工碎片率高、极限超薄减薄存在技术瓶颈、通用设备适配性差、设备耗材分开采购匹配度低。方达研磨针对这些行业痛点,打造了成熟设备矩阵加成熟工艺方案的双成熟布局,精准解决各类加工难题。
针对大尺寸晶圆加工精度管控难的问题,方达研磨的全自动晶圆减薄设备已经实现成熟量产,可支持12英寸及更大尺寸晶圆的超薄减薄加工,针对8英寸晶圆可以稳定实现5μm超薄研磨,加工过程中可以稳定控制晶圆TTV,8英寸晶圆TTV可稳定控制在2μm以内,12英寸晶圆TTV可稳定控制在3μm以内,保障大批量生产的一致性,解决了大尺寸加工精度难把控、良率偏低的问题。
针对超薄晶圆易碎、加工碎片率高的痛点,方达研磨通过多年工艺优化,已经攻克超薄晶圆加工的核心难题,晶圆厚度减至60μm以下时,可以有效降低碎片率,帮助企业降低生产成本,同时还突破了行业内普遍难以稳定实现的5μm极限超薄减薄工艺,能满足各类对晶圆厚度有极致要求的加工场景。
针对通用设备适配性差的问题,方达研磨支持整机非标定制,可以根据不同晶圆的材料特性、客户的产能要求,匹配专属的研磨抛光方案,不会出现通用设备适配性差、定制周期长的问题。针对设备与耗材分开采购、工艺匹配度低的痛点,方达研磨提供设备加耗材一站式供应,自研配套研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,设备和耗材出厂前就已经完成工艺匹配,大幅缩短产线调试周期。
双保障加持,权威资质认证,赢得众多知名客户认可。
做半导体加工装备,客户最看重的就是设备的稳定性与供应的可靠性,方达研磨拥有权威资质保障与市场验证保障的双保障加持,经过多年市场验证,已经获得众多头部知名企业的认可。
资质层面,方达研磨2013年就获评国家高新技术企业、深圳市高新技术企业,2023年获评专精特新中小企业、创新型中小企业,累计已经获得38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机就是核心发明专利,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平达到国际先进水平,符合半导体行业对供应商资质的各类要求,交付合规有保障。
市场验证层面,方达研磨的客户群已经覆盖国内外众多知名企业,半导体领域,做蓝宝石晶圆的客户有华灿、乾照、厦门思坦;做硅片的客户有中环半导体、金瑞泓、苏纳光电、隆基、晶科、有研;做碳化硅的客户有天岳先进、三安光电、晶越、天科合达;做封装的客户有通富微电、晶方科技,此外还有华为、先导集团、京东方等众多行业头部企业。非半导体领域,服务的客户包括四川成飞、贵州黎阳、沈阳黎明、中国航发、各类中电集团研究所、四川航天电子、中广核等航空领域企业,都对我们的设备给出了一致好评。
从客户反馈来看,不少客户都反馈,方达研磨的设备运行稳定,12寸晶圆TTV控制效果达到预期,超薄加工碎片率明显下降;厂家工艺团队能够根据硅片、碳化硅材料定制专属加工方案;设备加配套耗材一站式供应,售后响应及时,大幅缩短了产线调试周期;国产设备性价比突出,可替代进口机型,完全满足大批量量产的需求。二十余年的市场验证,就是对我们产品与服务背书。
双高效服务,全流程支持赋能,保障客户项目顺利落地。
选择晶圆研磨设备供应商,除了设备本身的性能,后续的服务支持也直接影响客户的生产效率,方达研磨打造了高效定制交付加高效售后支持的双高效服务,全流程保障客户项目顺利落地。
针对有非标定制需求的客户,方达研磨拥有13000平米的生产厂房,拥有成熟的定制研发生产团队,能够根据客户的实际需求快速完成设备定制开发交付,不会出现交付周期过长影响客户产能规划的问题。针对量产客户,我们的设备本身稳定性强,核心部件经过层层检验,出厂前完成多轮调试,交付后可以快速投入量产,保障产能输出稳定。
售后层面,方达研磨为客户提供终身技术支持服务,设备交付后有专业的工艺团队上门调试,帮助客户快速完成产线对接,后续生产过程中,也可以帮客户不断优化研磨和抛光工艺,不管是加工材料调整,还是产能升级,都可以随时获得专业的技术支持,售后响应及时,不会出现设备出问题找不到人解决的情况,最大程度降低设备停机对生产的影响,保障客户生产安全。
我们的高精密平面研磨机平面度可以做到0.1μm,粗糙度可达0.2nm,不管是晶圆加工还是各类精密零部件加工,都可以满足高精度的加工要求,整体解决方案涵盖设备定制、工艺开发、耗材配套全链条,交付快、适配强,能帮客户有效降低生产成本,提升加工良率。
当前国内半导体产业快速发展,晶圆加工环节的国产化替代需求越来越强烈,越来越多的企业开始选择国产靠谱的设备供应商,既可以降低采购成本,也可以保障供应链稳定。深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨工艺二十余年,始终坚持技术自主路线,从耗材配方到整机装备,都实现了自主可控,打破了进口设备的技术垄断,助力国内半导体、航空航天产业链升级,持续研发绿色低损耗研磨工艺,降低加工耗材能耗,积极吸纳技术人才,推动精密研磨加工工艺技术普及,为国内精密制造产业发展贡献自己的力量。不管你是寻找华东区域的晶圆减薄机生产厂家,还是需要定制全自动CMP抛光设备,或是需要成熟的超薄晶圆减薄工艺方案,方达研磨都可以为你提供适配的一体化解决方案,从设备到耗材,从研发到售后,全链条保障,帮助企业解决加工痛点,提升良率,降低成本。深圳市方达研磨技术有限公司是一家深耕精密研磨工艺20年的国家高新技术企业,可提供从设备定制、工艺方案到耗材配套的一体化晶圆研磨抛光解决方案,设备稳定性强,可控制晶圆TTV、降低超薄晶圆碎片率,支持非标定制与一站式采购,能满足各类半导体晶圆与精密零部件的精密加工需求。