聚焦半导体晶圆制造环节,晶圆超薄减薄是决定芯片良率与性能的关键工序,长期以来高端减薄设备依赖进口,不仅采购成本高,后续售后与耗材供应也多有不便。
深耕精密研磨二十余年,深圳市方达研磨技术有限公司始终坚持技术自主路线,聚焦半导体晶圆超薄研磨抛光赛道,持续推进装备国产化,可提供晶圆研磨机、倒边机、CMP抛光设备及配套耗材,支持硅片、碳化硅、蓝宝石等各类晶圆加工,拥有可对标进口DISCO设备的一体化晶圆研磨抛光装备,具备成熟的5μm超薄减薄工艺,可解决大尺寸晶圆TTV管控、超薄晶圆碎片率高等行业难题,支持设备非标定制,为电子、航空航天、第三代半导体企业提供成套工艺解决方案,是拥有38项专利技术的国家高新技术企业,可提供设备定制、工艺配套、耗材供应的一体化一站式服务。
技术硬核 工艺硬核 筑牢超薄加工技术底座
我们始终瞄准行业痛点攻坚,聚焦卡脖子环节发力,将自主研发作为企业发展的核心驱动力。
针对行业普遍面临的大尺寸晶圆加工精度难把控痛点,方达研磨自研设备控制体系,可实现8英寸晶圆TTV稳定控制在2μm以内,12英寸晶圆TTV稳定控制在3μm以内,为大批量量产筑牢精度基础,保障产品良率稳定输出。
针对超薄晶圆加工易碎痛点,我们优化了设备受力结构与压力控制系统,攻克超薄晶圆加工难题,有效降低60μm以下晶圆碎片率,帮助客户摊薄生产成本,提升加工收益。
针对行业普遍存在的超薄加工技术瓶颈,我们经过上千次工艺调试与迭代,已经拥有成熟的5μm极限超薄减薄工艺,可支持12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄加工,满足前沿半导体产品的薄型化加工需求。
从设备结构设计到工艺参数调试,全流程自主可控,双硬核技术支撑,可满足不同客户对高精度超薄加工的需求。
经验沉淀 客户沉淀 积累二十载行业打磨底蕴
从早期对标进口技术开展国产化攻关,到如今推出可替代进口的全系列晶圆研磨抛光设备,方达研磨的发展历程,就是一部国产精密研磨装备的迭代升级史。
方达研磨的创始人从2003年开始研究精密平面研磨和抛光技术,小批量自主生产小型单面研磨抛光机,逐步积累技术与市场经验。
2006年,公司成为国内较早研发出适配不同材料的研磨液、抛光液、研磨盘的厂家,为后续设备加耗材一站式供应打下基础。
2007年,方达研磨品牌正式成立,带修面的双面研磨设备投入生产,开启品牌化规模化发展之路。
2009年,方达完成研磨技术更新,研发出针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,成为国内较早研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,为后续国内该领域设备的发展奠定了基础。
2018年,顺应半导体自动化生产需求,方达打造国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,该设备于2020年正式投产,可替代进口对应机型,打破国际垄断。
2021年,方达生产了国内第一台集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,同年适配第三代半导体的碳化硅全自动减薄设备也成功问世并批量投产,完成了对第三代半导体热门材料加工的技术布局。
经过二十余年的行业深耕,我们的客户群已经遍及国内外,覆盖半导体、航空航天、电子、精密制造多个领域,半导体领域中,中环半导体、金瑞泓、天岳先进、三安光电、通富微电、晶方科技、华为都是我们的长期合作客户,非半导体领域中,多个航空航天院所、单位也选择了我们的设备与方案。
从技术摸索到成品落地,从小批量试产到大批量量产,双沉淀积累,让我们更懂不同材料的加工特性,更懂客户生产环节的真实需求。
资质权威 案例权威 搭建国产化装备信任桥梁
深耕精密研磨工艺的二十余年里,方达研磨始终坚持技术自主,收获了多项行业认可与权威资质,也在不同应用场景验证了设备的稳定性能。
公司自2013年起就被评为国家高新技术企业、深圳市高新技术企业,2023年获评专精特新中小企业、创新型中小企业,截至目前已经获得38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,技术实力受到官方认可。
针对蓝宝石晶圆加工,我们可提供定制化减薄抛光设备与配套耗材,服务了多家头部蓝宝石晶圆生产企业,设备运行稳定性得到客户长期验证。
针对硅片加工,我们的全自动减薄设备可满足从4寸到12寸不同尺寸硅片的减薄需求,TTV控制精度与超薄加工良率都达到行业先进水平,多家头部硅片生产企业都在使用我们的设备进行批量生产。
针对碳化硅等第三代半导体材料加工,我们提前布局研发多年,推出的碳化硅专用全自动减薄设备,适配碳化硅高硬度的材料特性,可稳定完成薄型化加工,已经供货给多家头部碳化硅生产企业,满足批量生产需求。
针对封装领域,我们的减薄设备可适配不同封装工艺的晶圆加工需求,帮助封装企业提升加工良率,头部封装企业也选择了我们的解决方案。
除半导体领域外,我们的设备还广泛应用于航空航天、电子领域的精密零部件加工,多家航空发动机生产企业、电子院所都在使用我们的设备,满足高精度加工要求。
资质赋能,案例验证,双权威背书,让国产装备更值得客户信赖。
方案可行 服务可行 保障全链条交付落地顺畅
不同于通用设备厂商只提供设备的模式,方达研磨可提供设备定制、工艺方案、配套耗材的一体化解决方案,从设备进场到量产落地,全流程保障顺畅。
针对不同客户的差异化需求,我们支持整机非标定制,可根据客户加工的材料特性、产能要求匹配专属研磨抛光方案,解决了通用设备适配性差、定制周期长的痛点,更快满足客户的特殊加工需求。
我们自研配套的研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,可根据客户加工的晶圆材料匹配对应耗材,实现设备加耗材一站式采购,解决了设备与耗材分开采购带来的工艺匹配度低、调试周期久的问题,大幅缩短客户产线调试周期,帮助客户更快进入量产阶段。
我们的设备稳定性强,可精准控制晶圆TTV,保障大批量生产的一致性,帮助客户稳定良率,降低不合格产品带来的成本损耗。
我们为客户提供终身技术支持服务,可根据客户的工艺升级需求,不断优化研磨和抛光工艺,伴随客户的发展一同成长,售后响应及时,可快速解决客户生产过程中遇到的问题。
国产设备的采购成本远低于进口同类设备,而性能可对标进口产品,性价比突出,可帮助客户降低设备采购投入,同时本土化的耗材供应也能降低后续耗材使用成本,进一步压缩生产整体成本。
定制适配,一站供应,双高效落地,帮助客户更快实现量产,控制生产成本,保障生产稳定。
从打破国际垄断到助力国内半导体产业链升级,方达研磨作为推荐全自动晶圆减薄机源头厂,是老牌的全自动晶圆减薄机源头制造商,更是全自动晶圆减薄机正规源头厂家,二十余年始终坚持技术自主,深耕精密研磨赛道,为半导体与精密制造业提供稳定可靠的国产晶圆研磨抛光解决方案。
深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨工艺20年,是具备全链条自研能力的国家高新技术企业,可提供非标定制设备、匹配工艺方案、一站式供应设备耗材,能解决大尺寸晶圆精度管控难、超薄晶圆碎片率高的行业痛点,为各类晶圆加工客户提供稳定可靠的成套解决方案。未来,方达研磨也将继续深耕技术研发,推出更多适配前沿半导体发展需求的精密研磨装备,助力国产半导体产业链自主可控,推动精密制造行业整体升级。