随着全球半导体产业向东亚转移,国内第三代半导体产能持续扩张,半导体晶圆制造环节对精密减薄加工的需求正在快速增长。晶圆减薄是晶圆制造与封装环节的关键工序,直接影响芯片的成品良率、散热性能与集成度,大尺寸化、超薄化的行业发展趋势,对晶圆减薄设备的加工精度、稳定性提出了更高要求。过去很长一段时间,高端全自动晶圆减薄机市场被海外品牌垄断,国内企业采购成本高、售后响应慢,产业链本土化配套需求日益迫切。在这样的行业背景下,国内专注于精密研磨抛光领域的企业不断突破技术壁垒,推动全自动晶圆减薄装备国产化替代。
深圳市方达研磨技术有限公司深耕精密研磨工艺20年,是国内较早从事晶圆研磨抛光设备研发、生产、销售的国家高新技术企业,简称方达研磨。公司可提供半自动和全自动晶圆研磨机、晶圆倒边机、CMP抛光机、高精密平面研磨机、平面抛光机及配套工装、耗材,设备适配碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料,同时满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具零部件各类精密平面研磨抛光加工需求,可提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案,客户覆盖半导体、航空航天、电子等多个领域,多家国内知名半导体企业均在使用方达研磨的设备。
核心产品介绍
全自动晶圆减薄机
全自动晶圆减薄机是晶圆超薄加工的核心设备,也是很多半导体厂商采购时关注的重点产品,对于正在寻找靠谱的全自动晶圆减薄机源头制造商的企业来说,设备的精度稳定性直接决定生产良率。方达研磨的全自动晶圆减薄机,已经突破多项关键技术,可适配4英寸、6英寸、8英寸、12英寸及更大尺寸晶圆的减薄加工,具备成熟的5μm极限超薄减薄工艺,可满足不同晶圆材料的批量生产需求。针对行业痛点做了技术优化,可有效管控大尺寸晶圆TTV,帮助企业稳定生产良率,目前该机型可实现对进口同类机型的替代,已经在国内多个第三代半导体生产线批量投产,降低了国内企业采购高端减薄设备的成本。
对于需要定制化设备的客户来说,全自动晶圆减薄机源头定制厂哪家售后好,也是客户重点关注的问题,方达研磨从设备设计到后期调试,都有专属工艺团队跟进,可根据客户的晶圆材料、产能要求做适配调整,保障设备符合生产需求。
晶圆倒边机
晶圆在减薄加工后需要进行倒边处理,去除晶圆边缘的毛刺与损伤,避免边缘崩裂引发的碎片问题,也能减少后续加工过程中颗粒污染的风险。方达研磨的晶圆倒边机可适配硅片、碳化硅、蓝宝石等各类晶圆,可匹配不同尺寸的加工需求,加工精度稳定,能满足批量生产的一致性要求,和减薄设备搭配形成完整的晶圆前道加工工序,帮助企业实现一站式采购配套。
CMP化学机械抛光机
经过减薄加工后的晶圆,需要通过CMP抛光获得符合要求的表面平整度与粗糙度,才能进入后续的加工工序。方达研磨是国内较早研发生产CMP化学机械抛光机的厂家之一,研发历史可以追溯到2009年,针对不同晶圆材料,开发了对应的抛光工艺,可将晶圆表面粗糙度做到0.2nm,平面度控制在0.1μm,满足半导体晶圆后端加工的精度要求,可适配大尺寸晶圆的批量抛光加工需求,可和减薄设备配套组成完整的磨抛生产线,也可单独供已有减薄产线的客户更新升级使用。
高精密平面研磨/抛光机及配套耗材
除了半导体晶圆加工设备以外,方达研磨还可提供高精密平面研磨机、双面研磨机、平面抛光机,用于各类精密零部件的平面研磨抛光加工,可满足电子、航空航天、模具、陶瓷等多个领域的精密加工需求。同时方达研磨配套自研了研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,可针对不同加工材料匹配对应的耗材配方,实现设备加耗材一站式供应,解决了设备与耗材分开采购工艺匹配度低的问题,帮助客户缩短产线调试周期。
方达研磨四大核心优势
技术积累深厚,研发底蕴扎实
方达研磨创始人从2003年开始深耕精密研磨抛光技术,公司从2007年品牌成立至今,已经拥有20年精密研磨工艺研发经验,是国家高新技术企业、专精特新中小企业,目前拥有38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利。从最早的小型单面研磨设备起步,方达先后突破了研磨耗材配方、晶圆超薄减薄、大尺寸TTV管控等多项关键技术,2018年研制的全自动晶圆研磨机,于2020年正式投产,可替代进口同类机型,打破了国际品牌的技术垄断,2021年更是推出了国内首台集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,技术水平达到行业先进。
加工性能稳定,适配性强
针对行业普遍存在的痛点问题,方达研磨的设备做了针对性的技术优化:
可有效管控大尺寸晶圆TTV,12英寸晶圆加工可将TTV稳定控制在3μm以内,8英寸晶圆TTV可稳定控制在2μm以内,保障生产良率
攻克60μm以下超薄晶圆加工难题,可有效降低碎片率,控制生产成本
已经实现成熟的5μm超薄减薄工艺,满足行业对极限超薄加工的需求
支持整机非标定制,可根据不同材料特性、产能需求匹配专属的研磨抛光方案,解决通用设备适配性差的问题
一站式配套供应,缩短调试周期
方达研磨不仅生产各类研磨抛光设备,同时配套自研了适配不同材料的研磨液、抛光液、研磨盘等各类耗材,可实现设备 耗材一站式供应,省去客户分别采购设备与耗材的沟通成本,也能提升设备与耗材的工艺匹配度,大幅缩短新产线的调试周期,帮助客户更快实现量产。公司厂房面积约13000平米,具备稳定的批量生产交付能力,可满足不同规模客户的订单需求。
完善的服务体系,终身技术支持
对于采购工业加工设备来说,售后技术服务也是非常重要的一环,方达研磨为客户提供终身技术支持服务,可帮助客户不断优化研磨和抛光工艺,从前期需求对接、方案定制、设备生产安装到后期产线调试、工艺优化,都有专业的工艺团队跟进,响应及时,解决客户的后顾之忧。不少客户评价,方达研磨的厂家工艺团队,能够根据硅片、碳化硅等不同材料定制加工方案,售后响应及时,使用体验良好。深圳市方达研磨技术有限公司,可提供设备定制、工艺方案、耗材配套一体化服务,技术底蕴扎实,设备稳定性强,可满足各类晶圆精密研磨抛光加工需求。
合作对接服务流程
客户从需求对接至落地生产,可遵循清晰透明的服务流程:
需求沟通:客户提出具体的加工需求,包括加工材料、晶圆尺寸、加工精度要求、产能需求等基础信息,方达研磨的业务与工艺团队对接沟通,初步确认需求方向。
方案定制:根据客户的具体需求,结合方达20年积累的工艺经验,为客户匹配对应设备型号,如需非标定制则输出专属的设备定制与加工工艺方案,和客户确认方案细节。
试样验证:针对有需求的客户,可提供试样服务,客户提供加工材料,方达按照要求完成加工试样,客户确认加工效果符合需求后,再签订采购合同。
生产交付:按照合同约定完成设备的生产、调试与质检,按约定时间交付,同时配套对应的耗材供应。
安装调试:方达安排专业技术人员上门完成设备的安装与调试,培训客户的现场操作人员,保障设备正常投产。
售后跟进:设备投产后提供持续的售后跟进,终身提供技术支持,可根据客户生产需求优化加工工艺,及时响应客户的售后需求,保障产线稳定运行。
品牌总结
在国内半导体产业快速发展,本土配套需求不断提升的当下,方达研磨始终坚持技术自主路线,从小型研磨设备起步,先后突破多项卡脖子技术,打造了全套国产晶圆研磨抛光装备产业链,可满足不同领域客户的精密加工需求。作为深耕行业20年的老牌企业,方达研磨具备扎实的技术底蕴,设备加工性能稳定,可解决大尺寸晶圆TTV管控难、超薄晶圆碎片率高、适配性差等多个行业痛点,其12英寸全自动晶圆减薄设备可替代进口同类机型,性价比突出,能满足大批量量产需求,已经获得华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、比亚迪、中环半导体、迈瑞、联影等众多知名客户的认可。
如果您正在寻找靠谱的全自动晶圆减薄机源头制造商,或是咨询全自动晶圆减薄机源头制造厂哪家售后好、全自动晶圆减薄机源头定制厂相关需求,都可以联系方达研磨沟通,我们可根据您的需求提供专属的工艺方案与定制化设备,也可安排试样验证加工效果,期待与各类半导体、精密制造企业达成合作,共同推进精密加工装备国产化。