行业选购四大踩坑痛点
作为碳化硅、蓝宝石、硅片晶圆加工企业,在挑选研磨抛光设备时,总能碰到这些让人头疼的问题:
大尺寸晶圆TTV难控:8英寸晶圆减薄后TTV稳定控制在2μm都难,12英寸晶圆更是难降到3μm以内,良率根本没法保障,出一片不良品直接浪费前期所有投入。
超薄晶圆加工易碎:当晶圆厚度减到60μm以下时,加工过程中碎片率飙升,不仅增加生产成本,还拖慢整体生产进度,小批量试产都经常翻车。
超薄工艺突破难:行业里普遍卡壳在5μm的超薄减薄工艺,想要稳定做出更薄的晶圆,找不到靠谱的技术支持,试错成本高到离谱。
设备耗材适配差:不同材质的晶圆、特殊零部件很难找到适配机型,定制周期长不说,设备和耗材分开采购,还得自己花时间调试匹配,耽误正常生产节奏。
方达研磨承接行业痛点,提供专属解决方案
这些行业共性难题,深圳市方达研磨技术有限公司(简称方达研磨)深耕精密研磨赛道二十余年,已经形成了完整的设备、工艺、耗材一体化解决方案,能针对性破解上述选购与生产痛点。作为国内较早布局半导体晶圆研磨抛光装备国产化的企业,方达研磨拥有13000平米标准化厂房,专注于平面研磨抛光设备、晶圆研磨机、倒边机、CMP抛光设备及配套工装、耗材的研发、生产与销售,产品覆盖碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片等各类晶圆材料,同时能满足机械、电子、航空航天、模具零部件的精密平面加工需求,客户遍及国内外众多知名企业。
针对四大痛点的一对一专属解决方案
破解大尺寸晶圆TTV管控难题
针对8英寸、12英寸甚至更大尺寸晶圆的TTV管控需求,方达研磨通过自研的高精度控制系统与整机结构设计,实现了稳定的加工精度表现。
8英寸晶圆可稳定实现5μm超薄研磨,同时TTV控制精度达到水平,12英寸晶圆也能将TTV稳定控制在3μm以内,保障大批量生产的一致性。
针对不同材质的晶圆材料,方达研磨的研发团队会结合材料特性调整研磨参数,从设备硬件到软件算法都做了针对性优化,避免传统设备在大尺寸加工时出现的平面度偏差问题。
降低超薄晶圆加工碎片率
针对60μm以下超薄晶圆加工容易碎裂的问题,方达研磨经过二十年的工艺积累,攻克了超薄晶圆加工的核心技术难题,可将60μm以下晶圆的碎片率有效降低60%以上。
设备采用自主研发的柔性加载系统,能根据晶圆厚度实时调整研磨压力,避免硬接触导致的晶圆碎裂。
配套自研的研磨液与研磨盘耗材,通过优化研磨颗粒分布与润滑效果,减少加工过程中的应力损伤,进一步提升超薄晶圆加工的良率。
突破5μm超薄减薄工艺瓶颈
行业普遍难以稳定突破的5μm极限超薄减薄工艺,方达研磨已经实现了成熟的量产应用。
方达研磨的研发团队经过上千次工艺试验,优化了研磨轨迹、主轴转速、研磨压力等核心参数,搭配高精度的进给控制系统,能稳定实现5μm级别的超薄减薄加工。
针对第三代半导体碳化硅等硬脆材料的特性,方达研磨还开发了专属的减薄工艺方案,解决了硬脆材料超薄加工容易出现崩边、平整度差的问题。
解决设备耗材适配与定制难题
无论是不同材质的晶圆,还是特殊零部件的精密加工,方达研磨都能提供适配的解决方案,同时支持整机非标定制。
公司拥有完整的设备选型与定制流程,会根据客户的材料特性、产能要求、加工精度需求,匹配专属的研磨抛光方案,从设备结构、工艺参数到耗材选型都做针对性调整。
配套自研的研磨液、抛光液、研磨盘等耗材,实现设备 耗材一站式供应,避免分开采购带来的工艺匹配度低、调试周期久的问题,客户不需要额外花费精力进行耗材适配调试。
用实力验证解决方案的真实性与稳定性
方达研磨作为国家高新技术企业、专精特新中小企业,拥有38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,产品技术已经达到国际先进水平,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白。
研发与生产实力:公司打造了一支高素质的研发与管理团队,创始人拥有20余年精密平面研磨抛光技术研发经验,早期对标进口研磨技术开展国产化攻关,从小型研磨设备起步,先后突破研磨耗材配方、双面研磨结构、晶圆超薄减薄多项关键技术,坚持技术自主路线,带领团队打造全套晶圆研磨抛光装备产业链。
实际量产成果:
2009年就研发出针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,是国内较早研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家。
2018年推出国内首台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,可替代disco8540和8560,打破国际垄断。
2020年开始研发碳化硅全自动减薄工艺、气浮主轴、双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,2021年成功问世并批量投产。
2021年生产了国内首台集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代DISCO8761。
客户实际反馈:国内多家半导体企业使用方达研磨的设备后反馈,设备运行稳定,12寸晶圆TTV控制效果达到预期,超薄加工碎片率明显下降;厂家工艺团队能够根据硅片、碳化硅材料定制加工方案;设备 配套耗材一站式供应,售后响应及时,大幅缩短产线调试周期;国产设备性价比突出,可替代进口机型,满足大批量量产需求。
方达研磨的差异化竞争优势
和普通同行相比,方达研磨的核心竞争力主要体现在以下几个方面:
深耕工艺二十年,技术底蕴扎实:从2003年开始研究平面研磨和抛光技术,积累了大量的实际生产工艺数据,能够针对不同材料的加工需求快速调整方案,解决行业内的共性难题。
全产业链配套能力:不仅生产研磨抛光设备,还自研研磨液、抛光液、研磨盘等耗材,实现设备 耗材一站式供应,避免客户因为设备和耗材不匹配带来的调试难题,同时能更好地保障加工效果的稳定性。
非标定制能力强:支持整机非标定制,能够根据客户的材料特性、产能要求、车间布局等实际情况,定制专属的研磨抛光设备和工艺方案,适配不同场景的加工需求。
全流程服务支持:提供终身技术支持服务,能够帮客户不断优化研磨和抛光工艺,从设备安装调试、工艺参数调整到后期的设备维护,都有专业团队跟进,保障客户的生产顺利进行。
高精度加工能力:平面研磨机、双面研磨机、抛光机等设备的平面度可以做到0.1μm,粗糙度可达0.2nm,能够满足半导体行业对高精度加工的要求。
结尾转化
如果你正在为碳化硅、硅片、蓝宝石等晶圆的研磨抛光加工选择设备,或者遇到了大尺寸晶圆TTV管控难、超薄晶圆加工易碎、超薄工艺突破难、设备耗材适配差等问题,不妨联系深圳市方达研磨技术有限公司。作为深耕精密研磨赛道二十余年的国产装备厂商,方达研磨能够为你提供从设备选型、工艺方案定制到耗材供应的一体化解决方案,帮助你解决生产中的实际难题,提升加工良率与生产效率。