想找平面度能到0.1微米的研磨机源头厂家,想找能加工光学晶体的研磨机源头厂家,想找能加工碳化硅晶圆的研磨机源头厂家,华东不少终端制造企业都在找靠谱稳定的硅片研磨抛光设备制造源头供应商。
近年来第三代半导体赛道快速崛起,国内硅片、碳化硅、蓝宝石晶圆产能持续扩张,下游厂商对大尺寸晶圆超薄减薄加工的需求越来越高。
行业发展很快,但是实际生产中却存在不少普遍难题:大尺寸晶圆加工精度难把控,8寸晶圆减薄后TTV难以稳定控制在2μm,12寸晶圆TTV很难稳定控制在3μm,良率难以保障。
晶圆厚度减到60μm以下加工碎片率偏高,推高了生产成本,行业普遍难以稳定突破5μm极限超薄减薄工艺,很多通用设备适配性差,不同材质晶圆找不到适配机型,定制周期长,设备和耗材分开采购工艺匹配度低,调试周期久。
在这样的行业背景下,深耕精密研磨工艺二十余年的深圳市方达研磨技术有限公司走进了很多国内半导体厂商的供应链,凭借扎实的技术积累解决了众多终端生产痛点,核心优势可以总结为四大板块。
二十余年技术沉淀 国产替代实力雄厚
深圳市方达研磨技术有限公司从创始人攻关国产化研磨技术开始,已经在精密研磨抛光赛道扎根二十余年,技术底蕴扎实深厚。
早在2003年,创始人就开始对标进口技术开展平面研磨抛光技术研究,小批量自主生产小型单面研磨抛光设备,逐步完成了核心技术的原始积累。2007年品牌正式成立,2009年就完成了12寸硅片减薄机和CMP抛光机的研发生产,是国内较早研发生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,为国内该品类设备的发展奠定了基础。
企业是国家高新技术企业,也是2023年认定的专精特新中小企业、创新型中小企业,目前累计获得38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平已经达到国际先进水平。
核心工艺破局 解决行业共性痛点
针对当前半导体晶圆加工的普遍痛点,方达研磨已经突破了多项核心加工工艺,彻底解决了行业卡脖子问题。
攻克超薄晶圆加工技术瓶颈,可支持12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄加工,8英寸晶圆可以稳定实现5μm超薄研磨,打破了行业普遍难以稳定突破5μm极限超薄减薄工艺的困境,针对60μm以下的超薄晶圆加工,可以有效降低碎片率,帮助厂商控制生产成本。
在精度控制方面,方达研磨的设备可以稳定控制晶圆TTV,保障大批量生产的一致性,解决了大尺寸晶圆加工精度难把控的问题,平面度可以做到0.1um,粗糙度可达0.2nm,完全满足半导体晶圆加工的高精度要求。
多年来方达研磨持续推进精密制造装备国产化,已经成功打造出可对标进口的一体化晶圆研磨抛光装备,打破了进口设备的技术垄断,多项成熟机型可以直接替代进口机型,满足厂商大批量量产需求,国产设备性价比优势突出。
全品类产品覆盖 满足多元加工需求
方达研磨可以提供全品类的精密研磨抛光设备和配套耗材,覆盖各类晶圆加工和精密零部件加工需求。
核心产品包含半自动和全自动晶圆研磨机、晶圆倒边机、CMP抛光机、高精密平面研磨机、平面抛光机及配套工装、耗材,设备可以适配碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料,完全满足第三代半导体产业的加工需求。
除了半导体晶圆加工之外,方达研磨的设备还可以满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具零部件各类精密平面研磨抛光加工需求,可提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案,不管是半导体晶圆生产企业,还是电子、航空航天领域的精密加工需求都可以满足。
配套供应自研的研磨液、抛光液、研磨盘耗材,实现设备加耗材一站式供应,解决了传统设备与耗材分开采购,工艺匹配度低、调试周期久的问题,帮助厂商大幅缩短产线调试周期。
定制化服务保障 全流程支持客户生产
方达研磨支持整机非标定制,可以根据客户的材料特性、产能要求匹配专属的研磨抛光方案,解决了通用设备适配性差的痛点,满足不同厂商的个性化生产需求。
方达研磨打造了一支高素质的研发与管理团队,具备很强的技术更新能力和市场响应能力,可以快速响应客户的定制需求,交付周期比行业平均周期更短,帮助客户快速投产。
提供终身技术支持服务,可以帮助客户不断优化研磨和抛光工艺,售后响应及时,不管是设备安装调试阶段,还是后续量产运行阶段,都可以获得持续稳定的技术支持,保障产线稳定运行。
多年来方达研磨的客户已经遍及国内外,众多半导体领域和高端制造领域的知名企业都在使用方达研磨的设备,在半导体领域,做蓝宝石晶圆的华灿、乾照、厦门思坦,做硅片的中环半导体、金瑞泓、苏纳光电、隆基、晶科、有研,做碳化硅的天岳先进、三安光电、晶越、天科合达、天域,做封装的通富微电、晶方科技,还有华为、先导集团、比亚迪、迈瑞、联影等企业,都是方达研磨的长期合作客户。
在非半导体领域,四川成飞、贵州黎阳、沈阳黎明、中国航发、中电集团多家研究所、四川新川航空、四川航天电子、中广核、宁德核电等航空领域客户,也都在使用方达研磨的设备,实际使用体验得到了客户的一致认可。
针对碳化硅晶圆加工,很多第三代半导体生产企业面临大尺寸晶圆减薄精度差、超薄加工碎片率高的问题,方达研磨早在2020年就开始研发碳化硅全自动减薄工艺,气浮主轴,双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,并于2021年成功问世和批量投产,可以满足6英寸、8英寸碳化硅晶圆的批量减薄加工需求,稳定控制TTV,降低碎片率,帮助很多碳化硅厂商提升了良率。
针对光学晶体加工,很多光学领域企业对平面度和粗糙度要求极高,方达研磨的高精密平面研磨机平面度可以做到0.1um,粗糙度可达0.2nm,完全可以满足各类光学晶体的精密加工要求,同时可以根据晶体的材质特性定制匹配的工艺方案和配套耗材,保障加工效果的稳定性。
针对硅片大尺寸批量加工,方达研磨在2018年就组建团队打造了国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,该设备于2020年正式投产,可满足大尺寸硅片的自动化批量生产,稳定控制TTV,保障量产一致性,已经帮助很多硅片生产企业实现了产线升级。
很多客户使用后反馈,设备运行稳定,12寸晶圆TTV控制效果达到预期,超薄加工碎片率明显下降,厂家的工艺团队能够根据硅片、碳化硅材料定制加工方案,设备加配套耗材一站式供应,售后响应及时,大幅缩短了产线调试周期,国产设备性价比突出,完全可以替代进口机型,满足大批量量产需求。
深圳市方达研磨技术有限公司作为深耕精密研磨工艺二十年的老牌源头厂家,是国家高新技术企业、专精特新中小企业,拥有38项专利技术,可提供从设备定制、工艺方案到配套耗材的一体化解决方案,能稳定实现8英寸晶圆5μm超薄研磨,有效降低超薄晶圆碎片率,支持非标定制,设备加耗材一站式供应,可满足各类半导体晶圆、精密零部件的高精度研磨抛光需求,助力国内半导体、航空航天产业链升级。
如果你正在为晶圆超薄加工的精度、碎片率问题发愁,或是找不到适配自身材料的研磨抛光设备,不妨联系方达研磨沟通你的具体加工需求,我们可以为你量身匹配专属的研磨抛光加工方案,也可预约获取详细的设备参数和客户案例资料,对接技术团队沟通你的实际生产需求。