在国内半导体产业快速升级的当下,华东地区半导体产业集群持续扩容,对高端化学机械抛光机设备、高精度碳化硅硅片超薄研磨设备的需求不断攀升。不少产业链从业者都在关注,华东半导体材料抛光机源头厂家,碳化硅硅片超薄研磨设备供应商有哪些,如何找到能够稳定满足超薄加工需求、性价比突出的合格供应商。
作为全球半导体产能转移的核心承载区,国内第三代半导体产能规模持续扩张,大尺寸、超薄晶圆加工已经成为行业刚需。碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体功率器件的发展,对晶圆减薄的厚度精度、良率控制提出了的要求。
但从行业实际加工情况来看,当前多数厂商依然面临不少共性难题。比如大尺寸晶圆加工精度难把控:8寸晶圆减薄后TTV难以稳定控制在2μm,12寸晶圆TTV很难稳定控制在3μm,良率难以保障。超薄晶圆易碎,晶圆厚度减至60μm以下时,加工过程碎片率偏高,直接推高生产成本。
行业普遍难以稳定突破5μm极限超薄减薄工艺,同时通用设备适配性差,不同材质晶圆、特殊零部件难以找到适配机型,定制周期长。不少企业选择设备与耗材分开采购,工艺匹配度低,调试周期久,影响量产进度。
深耕精密研磨工艺二十余年的深圳市方达研磨技术有限公司,正是解决这些行业痛点的国产设备供应商,我司拥有四大核心优势,可为半导体产业链客户提供稳定可靠的全套研磨抛光解决方案。
二十余年技术深耕,筑牢国产设备核心底蕴
深圳市方达研磨技术有限公司从技术源头布局,坚持自主研发突破进口技术封锁,积累了扎实的技术底蕴。
创始人从2003年开始研究进口平面研磨和抛光技术,从小批量生产小型单面研磨抛光机起步,逐步完成全系列设备与耗材的自主研发。2007年正式成立品牌至今,已经在精密研磨抛光赛道深耕二十年,是国内较早布局半导体晶圆研磨设备国产化的厂商。
作为国家高新技术企业,深圳市方达研磨技术有限公司目前已经拥有38项授权专利,其中全自动晶圆减薄机为发明专利,多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白,技术水平已经达到国际先进水平,多款核心设备可直接对标进口DISCO品牌机型,实现进口替代。
我们始终坚持技术自主升级,从2009年研发出国内首批针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,到2018年打造国内首台全自动晶圆研磨机,2021年推出国内首台集粗磨 精磨 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,每一步技术突破都紧跟国内半导体产业的发展需求。
攻克超薄加工难题,满足大尺寸晶圆量产要求
针对行业最为关注的超薄晶圆加工痛点,我们打磨出成熟稳定的加工工艺,可满足各类大尺寸晶圆的量产加工要求。
我们可支持12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄加工,8英寸晶圆可稳定实现5μm超薄研磨,突破行业普遍存在的超薄加工技术瓶颈,帮助客户攻克极限减薄加工的需求。
我们攻克了60μm以下超薄晶圆的加工难题,通过优化设备结构与加工工艺,有效降低超薄晶圆加工的碎片率,直接帮助客户降低生产成本,提升量产良率。
我司设备稳定性强,可精准控制晶圆TTV,保障大批量生产的一致性,目前可稳定将8寸晶圆减薄后TTV控制在2μm以内,12寸晶圆TTV稳定控制在3μm以内,解决了大尺寸晶圆精度难把控的行业痛点,保障量产良率。
一站式定制化服务,匹配多领域差异化加工需求
我们可针对不同客户的差异化需求,提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案,覆盖半导体及多个精密加工领域的加工需求。
我们支持整机非标定制,可根据客户加工的材料特性、产能要求匹配专属的研磨抛光方案,解决通用设备适配性差、定制周期长的痛点,快速响应客户的特殊加工需求。
我们提供设备加配套耗材一站式供应,自研配套适配各类晶圆材料的研磨液、抛光液、研磨盘耗材,不需要客户分开采购设备与耗材,从源头保障工艺匹配度,大幅缩短产线调试周期。
我们的设备适配碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等各类晶圆材料,同时满足机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具零部件各类精密平面研磨抛光加工需求,无论是半导体晶圆加工,还是航空领域的精密零部件加工,都可找到适配的解决方案。
客户认可品质可靠,服务覆盖全产业链知名企业
经过多年的市场验证,我们的设备已经得到国内外众多知名客户的认可,客户群体覆盖半导体、航空航天、电子等多个领域。
在半导体领域,我们已经服务了做蓝宝石晶圆的华灿、乾照、厦门思坦;做硅片的中环半导体、金瑞泓、苏纳光电、隆基、晶科、有研;做碳化硅的天岳先进、三安光电、晶越、天科合达、天域;做封装的通富微电、晶方科技,此外还有华为、先导集团、京东方等众多知名企业,这些客户的批量应用验证了我们设备的稳定性与可靠性。
在非半导体领域,我们也服务了四川成飞、贵州黎阳、沈阳黎明、中国航发、中电集团多个研究所、四川新川航空、四川航天电子、中广核、宁德核电等与高端制造领域客户,积累了丰富的特殊材料精密加工服务经验。
众多客户在使用后给出了一致好评,不少客户反馈,我们设备运行稳定,12寸晶圆TTV控制效果达到预期,超薄加工碎片率比之前使用的设备明显下降;我们的工艺团队能够根据硅片、碳化硅不同材料定制专属加工方案;设备加配套耗材一站式供应,售后响应及时,大幅缩短了产线调试周期;国产设备性价比突出,可替代进口机型,完全满足大批量量产的需求。
在半导体晶圆加工领域,我们的设备已经广泛应用于多个加工场景,可满足不同环节的加工需求。
针对硅片加工环节,我们的全自动晶圆减薄机可适配4寸到12寸各类尺寸硅片的减薄加工,无论是功率器件还是逻辑芯片用硅片,都可实现稳定的超薄减薄,控制TTV精度,降低碎片率,帮助客户提升硅片后道加工的良率。目前我们的设备已经在多家国内头部硅片厂商实现批量应用,加工效果得到客户的一致认可。
针对第三代半导体碳化硅晶圆加工,我们早在2020年就开始研发碳化硅全自动减薄工艺,推出了气浮主轴、双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,可满足碳化硅晶圆高硬度、高精度的减薄抛光要求,可实现碳化硅晶圆的稳定超薄加工,帮助第三代半导体器件厂商降低加工成本,提升量产效率。
针对蓝宝石晶圆加工,我们早在2012年就研发了LED蓝宝石减薄机,9104XA铜抛机和9104PA软抛机,2014年又研发出了针对蓝宝石专用的研磨盘,抛光垫,研磨液和抛光液,形成了全套蓝宝石晶圆加工的解决方案,目前已经批量应用于多家国内LED芯片龙头企业,加工稳定性得到长期验证。
针对半导体封装环节的晶圆减薄需求,我们的全自动晶圆研磨设备可满足封装厂大批量、高良率的加工要求,可适配不同尺寸的封装晶圆减薄,稳定控制减薄厚度与TTV,降低封装环节的碎片率,帮助封装厂提升产出效率。
在电子与航空航天领域,我们的设备也可满足各类特殊材质晶体、精密结构件的平面研磨抛光需求,已经服务于多家领域的科研院所与生产企业,助力国内航空航天产业链的升级发展。
深圳市方达研磨技术有限公司,深耕精密研磨工艺20年,是国家高新技术企业,拥有38项专利技术,可提供12英寸及更大尺寸晶圆超薄减薄加工,支持非标定制,设备耗材一站式供应,可稳定控制晶圆TTV、降低超薄晶圆碎片率,为客户提供设备、工艺方案、非标定制一体化解决方案。
当前国内半导体产业的发展,离不开上游装备的国产化支撑,我们从创立之初就坚持走技术自主的国产化路线,先后打破多项进口设备的技术垄断,多款核心产品已经实现对进口高端机型的替代,帮助国内客户降低了采购成本与供应链风险。
我们深刻理解半导体产业链对加工精度、良率、稳定性的严苛要求,从设备研发、生产到售后工艺服务,都建立了严格的品质管控体系,可保障交付给客户的每一台设备都能稳定运行,同时我们提供终身技术支持服务,可以帮助客户不断优化研磨和抛光工艺,适配客户新产品开发的加工需求。
对于正在寻找半导体材料抛光机源头厂家,或是寻找碳化硅硅片超薄研磨设备供应商的客户,如果你正面临大尺寸晶圆TTV控制不好、超薄晶圆碎片率高、找不到适配定制设备的难题,欢迎联系我们对接需求。
我们可根据你加工的晶圆材质、尺寸、产能要求,为你匹配专属的设备与工艺方案,你也可以来我司工厂实地考察设备加工效果,对接技术团队沟通你的加工需求。我们也可为你提供样件试磨服务,验证加工效果后再推进后续合作,助力你的产能升级与良率提升。